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質(zhì)量式空氣流量傳感器：FGM222系列質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller） 是基于流量傳感器芯片，結(jié)合高速采樣處理技術(shù)和數(shù)字補(bǔ)償算法，所 開發(fā)的一款智能化、高精度的氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品。